HELMUT FISCHER 菲希爾代理 X射線 XDL230

菲希爾X射線測(cè)厚儀XDL230核心技術(shù)參數(shù)

測(cè)量原理：X 射線熒光光譜法 (XRF)，無損檢測(cè)。

元素分析范圍：氯 (Cl, 原子序數(shù) 17) 至 鈾 (U, 原子序數(shù) 92)。

測(cè)量能力：

最多可同時(shí)分析 24 種元素、23 層鍍層。

厚度范圍：納米級(jí)至毫米級(jí)。

精度：重現(xiàn)性變異系數(shù) < 0.5%；厚度≥0.5μm 時(shí)，頂層精度 ≤5%。

HELMUT FISCHER 菲希爾代理 X射線 XDL230 X 射線系統(tǒng)：

射線管：鎢靶，帶鈹窗口。

高壓：30kV / 40kV / 50kV 三檔可調(diào)。

準(zhǔn)直器：標(biāo)配 φ0.3mm，可選 φ0.1mm/0.2mm 及矩形。

最小光斑：約 0.2mm (φ0.1mm 準(zhǔn)直器)。

探測(cè)器：比例計(jì)數(shù)器 (PC)。

樣品臺(tái)：

手動(dòng) XY 軸：移動(dòng)范圍 95 × 150 mm。

電動(dòng) Z 軸：行程 140 mm。

DCM 距離補(bǔ)償：支持 0-80mm 深腔測(cè)量。

定位系統(tǒng)：40-160 倍 高分辨率 CCD 攝像頭 + 激光定位。

分析方法：菲希爾基本參數(shù)法 (FP)，支持無標(biāo)樣測(cè)量。

尺寸與重量：570 × 760 × 650 mm；107 kg。